【研究报告内容摘要】
首次中标3dnand客户的3台膜厚量测设备,进度超预期。子公司上海精测成立于2018年7月,产品主要聚焦在半导体前道的量测设备,2018年就实现收入259万元,2019年上半年实现收入409万元,根据公司公告,上海精测2020-2022年收入不低于6,240万元、1.47亿元、2.298亿元。公司以椭圆偏振技术为核心,在1年多时间内开发了膜厚测量以及光学关键尺寸测量系统,包括集成式膜厚测量机efilm300im、集成单/双模块膜厚测量机efilm300ds、高性能膜厚及ocd测量机eprofile300fd等产品型号,并在近日实现3台来自长江存储的集成式膜厚光学关键尺寸量测仪订单,表明上海精测已具备晶圆制造环节的膜厚量测设备重复、批量供应能力,研发、验证、批量销售的进度超我们预期。
打破量测设备长期被kla、amat、hitachihigh-tech、nanometrics等的竞争格局。根据gartner、semi、icworld等数据,晶圆制造环节的量测设备市场上,kla市占率最高为52%,其次是amat、hitachihigh-tech,前三家市占率合计为75%。量测设备的产品分类中,膜厚设备主要被kla、nova、nanometrics&rudolph垄断,电子束复查被asml、应用材料垄断,套刻误差测量被kla和asml垄断,ocd被kla和nanometrics垄断,无图形晶圆检测和有图形晶圆检测均被kla垄断。根据中国国际招标网,在本土晶圆厂的量测设备市场上,也主要是被kla、nanometrics、asml等长期垄断,国产品牌之一上海睿励2017年底拿到长江存储2台膜厚设备订单但未有后续重复订单,国产品牌之二中科飞测自2019年下半年至今累计中标长江存储的3台光学表面三维形貌量测设备,国产品牌之三上海精测中标3台膜厚量测设备,再次打破国际品牌kla、nanometrics等长期垄断量测设备的行业竞争格局。
全球量测设备市场约60亿美元,其中膜厚设备市场规模约7亿美元。根据gartner数据,量测设备在晶圆制造工艺设备市场中占比11%,全球量测设备市场规模约为60亿美元,其中膜厚设备市场规模7亿美元,占比12%,ocd量测约6亿美元,占比10%,晶圆形貌检测约3.5亿美元,占比6%,无图形晶圆检测设备约3亿美元,占比5%,无图形晶圆检测设备18.5亿美元,占比32%,电子束复检设备6亿美元,占比11%。根据全球半导体设备的需求分布,中国大陆的量测设备市场规模估计为13亿美元,其中膜厚设备市场规模1.5亿美元,但根据长江存储规划3dnand层数将从目前64层直接增至128层,其膜厚量测设备或有翻倍增长空间。
已获大基金入股,上海精测有望成为中国未来的kla。由于kla在多数的量测设备产品分类中的市占率50%-90%,kla在上下游产业链中具备很强的议价能力,kla毛利率长期维持在55%-65%范围内,在全球半导体设备行业中处于高盈利水平,kla2019财年营业收入45.69亿美元,净利润11.76亿美元,目前市值282亿美元,ps、pb分别为6倍、24倍。根据公司公告,上海精测布局膜厚及ocd量测、电子束review、2019年9月获国家集成电路大基金、上海半导体装备材料产业投资基金等的投资支持,资本金从1亿元增至6.5亿元,人才队伍也扩张到上百人,已具备较强的资金实力、强大的研发团队,且产品也被3dnand客户的高度认可,有望受益于本土晶圆厂未来3-5年大幅度扩产及年均千亿元设备采购,成为中国未来的kla。
估值
我们维持公司19/20/21年净利润预测不变,目前市值对应pe估值为44/35/29倍,但公司全面布局集成电路量测设备且快速进入收获成长期,维持买入评级。
评级面临的主要风险
公司研发进展不及预期,下游客户扩产不及预期。

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