工厂低价转让speedfam(12b-5l)双面研磨抛光机
产品用途
本机主要用于硅片、石英晶体片、锗片、宝石片、陶瓷片、玻璃及其它硬脆材料的双面精密研磨,也适用于其它片状金属、非金属零件的平面研磨。
主要特点
本机采用变频调速,plc控制、触摸屏参数输入,图形显示各项运行参数,上缸压力采用电气比例阀,闭环反馈控制,压力等级设定方便、精确、操作简单易行,工作可靠稳定。
整机精度指标
1. 研磨盘平面度:0.02mm
2. 修正轮修研后平行平面度:≤0.0035mm
3. 加工件平面平行度:≤0.003mm/φ100mm
技术参数:
研盘尺寸:φ850mm×φ272mm×40 mm
最大研磨直径:φ270mm
游轮参数:英制 dp12 z=150
最小研磨厚度:0.35mm/φ100mm
最大研磨厚度:20mm
下研盘转速 0-50rpm
主电机参数:7.5kw 380v 1450rpm
砂泵参数:0.25kw 100l/mm
气源压力:0.5-0.6mpa
设备外形尺寸:(长×宽×高) 1600mm×1200mm×2700mm
质量:约2500kg
加工能力
磨片直径:φ75mm,φ100mm,
单个游星片承片量:8片/φ75mm 5片/φ100mm
总承片量:40片/φ75mm 25片/φ100mm
游星片数量:
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